傳統氣壓傳感器使用的樹脂封裝可能會因貼裝過程中產生的應力而導致性能變化。相比之下，百騰科技采用派瑞林(Parylene)鍍膜防護封裝技術，可較大限度地減少應力引起的性能波動。這消除了采用樹脂封裝的傳感器貼裝時的布局限制，有助于提高系統設計的靈活性。

用途：經Parylene涂敷后的產品具有極高的絕緣強度和耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防潮、防銹、透明、防水、抗老化、生物相容性等作用

適用范圍：航空航天、電路板、磁性材料、傳感器等領域

派瑞林鍍膜技術在MEMS氣壓傳感器領域應用特點

Parylene薄膜具有柔韌的特性, 而且有較好的機械特性、低成本、易制作等優點。Parylene以其優良的電性能已經廣泛應用在微電子產業和醫療產業中。Parylene是在真空氣相沉積工藝下沉積而成, 透明且具有良好的機械強度, 材料無應力,與集成電路制造工藝相兼容, 同時具有很好的生物相容性。隨著MEMS技術的進一步發展,Parylene鍍膜工藝以其特有的優點越來越受到MEMS領域的青睞, 應用到從微結構到集成微流體系統中。同時, 微傳感器(MEMS)的發展要求使用生物相容性的材料,這更促進了Parylene在可植入微系統等微傳感器(MEMS)上的應用。